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安捷倫氣質擴散泵油和前級泵油擴散泵除非您觀察到與擴散泵油相關的故障，否則沒有必要在一年內換兩次擴散泵油。要檢查擴散泵油，必須先將 MSD 放空（5975/5973 除外）。因此，檢查泵油的時機是為了進行其他維護而已經放空儀器真空時。
安捷倫氣質擴散泵油和前級泵油前級泵前級泵中的油應該平均每六個月更換一次，但也可以根據應用情況決定更換。泵油更換后，如果有前級捕集器，則應更換分子篩。 避免接觸到泵油。某些樣品的殘留物可能有毒。用過的油要設當處置。
如何更換安捷倫質譜Agilent5975C 泵油：
1.放空質譜，關掉MS，放氣。拔掉MS電源線。2.拆去出口和前級機械泵連接的管子。3.斷開電纜連線，移出擴散泵，用鋁箔罩好頂部。4 用GC柱箱60°C加熱15分鐘后，讓泵油流入底部的油箱中，移開泵芯。5. 傾倒出泵油。放點二氯甲烷潤濕，用布檫干凈。(擴散泵油： 6040-0809, 18.5ml X 2)6 更換全部泵油，推薦37ml.(注：更換泵油時，請使用防腐手套和安全眼鏡，避免與泵油接觸。
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